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在干法刻蚀与CVD设备中，腔体材料需要承受高温腐蚀性气体的长期侵蚀。因科镍600合金通过特殊的热处理工艺，在保持足够强度的同时展现出卓越的耐腐蚀特性。

合金棒材采用固溶+稳定化处理：1150℃保温2小时水淬，随后在850℃时效16小时。该处理使材料晶界处形成连续的Cr₂₃C₆碳化物，有效抑制晶间腐蚀。在含Cl₂、BCl₃的等离子体环境中，年腐蚀速率＜0.005mm。

通过XPS分析表明，材料表面形成致密的Cr₂O₃钝化膜，厚度2-3nm。在400℃工作温度下，经过1000小时测试，腔体尺寸变化＜5μm，完全满足半导体设备对尺寸稳定性的严苛要求。