PA视讯特钢科技有限公司

在半导体真空传输系统中，机械运动部件材料的放气特性直接影响系统的稳定性和晶圆的洁净度。高纯铝材凭借其优异的热导率和可加工性，配合特殊的表面处理工艺，在这一领域展现出独特优势。

我们采用的高纯铝材（纯度99.99%）经过特殊的电化学抛光处理：在磷酸-硫酸电解液中，控制电流密度20A/dm²，温度70℃，处理时间30分钟。这一工艺使材料表面粗糙度从原始的Ra 0.8μm降至Ra 0.05μm，有效表面积减少达85%。随后在450℃真空退火2小时，消除加工应力并进一步降低表面能。

在真空性能测试中，处理后的铝材放气率显著改善。经过200℃烘烤8小时后，放气率稳定在5.6×10⁻¹⁰ Pa·m³/s。通过XPS分析显示，表面形成了致密的Al₂O₃膜层，厚度约4nm，且碳污染含量低于1%。在经历1000次大气-真空循环后，材料放气率仍能保持在10⁻⁹ Pa·m³/s以内。

我们通过原子力显微镜精确表征表面形貌，采用接触角测量仪评估表面能变化。建立了一套完整的寿命预测模型，综合考虑材料放气特性、磨损性能和温度循环稳定性，为真空传输系统的可靠性设计提供科学依据。